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中央空調系統有主機和末端系統。按負擔室內熱濕負荷所用的介質可分為全空氣系統、全水系統、空氣水統、制冷劑系統。按空氣處理設備的集中程度可分為集中式和半集中式。按被處理空氣的來源可分為封閉式、直流式、混合式(一次回風二次回風)。主要組成設備有空調主機(冷熱源)、組合式空調機組(風柜)、風機盤管等等。為了便于使用和維修,主機的冷、熱煤管路上應設截至閥止回閥、過濾器、平衡閥、壓力表和溫度計等。在蒸汽加熱器的蒸汽管路上還要設蒸汽調節閥門和疏水器。為了保證表面式換熱器正常工作,在水系統的制高點應設排空氣裝置(如立式和臥式排氣閥),而在低點應設泄水閥門和排污閥門。
潔凈室恒溫恒濕空調通風系統耗電占整廠耗電量的約40~60%,一座晶圓廠的耗電量相當于一座十萬人口的城市;大部分已建成潔凈室,為降低成本和趕工期,導致未能采用有效的節能設備和方案,限有的大量潔凈室,有很大的節能改善空間;
采用更加節能、帶熱回收的主機;變頻技術、及通過系統分析對整個空調系統采用智能控制,提高系統運行cop通過采取全面改善措施,可以降低系統耗電10~30%。